Produção de filmes finos de óxidos de vanádio (VOx) a partir de V2O3 e molibdênio por codeposição via pulverização catódica assistida por campo magnético
Nesse trabalho, foram produzidos e caracterizados filmes finos de VOx com adição de molibdênio para a aplicação em detecção de radiação infravermelha utilizando a técnica de pulverizaçãocatódica, a partir da codeposição de um alvo de V2O3 - e de um alvo de molibdênio, em atmosfera inerte de argônio,...
Main Authors: | G de F. T. Barbosa, Fernanda, L. Ferreira, Carlos, S. B. de Castro, Marcelo |
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Format: | Online |
Language: | por |
Published: |
Instituto Militar de Engenharia (IME)
2020
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Online Access: |
http://ebrevistas.eb.mil.br/CT/article/view/3392 |
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